KURAGE online | 沖縄 の情報 > EUV露光の消費電力を10分の1に、沖縄科学技術大がミラー減らす新技術 投稿日:2024年9月19日 沖縄科学技術大学院大学(OIST)教授の新竹積氏は、先端半導体の製造に使うEUV(極端紫外線)露光装置の消費電力を従来の10分の1に低減する技術を提案した。関連キーワードはありません 続きを確認する