EUV露光の消費電力を10分の1に、沖縄科学技術大がミラー減らす新技術

沖縄科学技術大学院大学（OIST）教授の新竹積氏は、先端半導体の製造に使うEUV（極端紫外線）露光装置の消費電力を従来の10分の1に低減する技術を提案した。関連キーワードはありません