半導体向けEUV露光装置 沖縄科技大、低コスト化技術 - 日本経済新聞

沖縄科学技術大学院大学（OIST）は、最先端半導体の製造に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置の消費電力や製造コストを大幅に減らせる技術を開発した。関連キーワードはありません